1．TFT array工艺 1.1 TFT 阵列 5 mask工艺流程
1.2 TFT阵列成膜工艺
PECVD：
Sputtering：
1.3 TFT 阵列的光刻工艺
2．Cell 工艺流程
2.1 PI 摩擦
2.2 Spacer 散布
3. module 工艺流程
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